點擊圖片查看原圖燃燒水洗式廢氣處理機是一個專門處理含氟性氣體的廢氣處理系統，它混合了高溫燃燒分解及水溶解的過程，將製程所產生的廢氣，經由反應室二階段的高溫燃燒，反應成粉末，或是反應成溶解於水中的物質，再經由另一道程序的水槽而排放至廠務處理系統，所處理的廢氣，包含大部份半導體廠及TFT - LCD 廠所使用的特殊氣體，維修保養的頻率少且時間短，不會影響生產的時程。
產品特色：
1.工作溫度高達 1350 度，有效處理PFC、Gas。
2.遠端監控系統，隨時掌握機台狀況。
3.機台多使用循環水，用水量相當節省。
4.雙壓力計，監測進口壓力與出口壓力。
5.LCD 觸控式螢幕，具中英文介面，人性化操作。
6.雙腔體各自獨力的控制系統，可自動by pass。
7.反應腔體有特殊防阻塞、 PFA 抗腐蝕之設計，能延長機台 PM 週期，縮短 PM 時間。
8.電路人機介面 PLC 控制系統，具 99.9 ％的穩定性及準確性，維修亦簡單迅速。
9.具 SEMI 認證， interlock 、即時警報、故障排除…等安全機制。
產品規格：
1.可依製程提供二~八個廢氣處理入口端。
2.外觀尺寸 ( 公厘 )-1150( 深 )*1200( 寬 )*2100( 高 )。
3.機台重量： 635 公斤 。
4.最高處理量可到達 1200 slm 。
選購配備：
出口端鼓風機、遠端監控系統、自動切換系統 、加熱槍及加熱帶、水質酸鹼測量供應系統
燃燒水洗式廢氣處理機