點擊圖片查看原圖加熱區 : 12”dia x 48L
最高溫 : 1200C
Heater : R-Type, 3Set T/C, lead wire and head 160A, 380V/60Hz/3ph
三區加熱, 電腦控制, 可自動控制溫度(升降溫、恆溫)及控制真空壓力與手臂進出
自動 PID 控制器
即時 LED 顯示螢幕當下實際溫度與製程參數
適用晶片 6~8" Wafer
可課製設定溫度設定程式，且可調整 PID 參數以達到最佳設定溫度點
退火爐 / 擴散爐 /LPCVD
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退火爐 / 擴散爐 /LPCVD
詳細說明 加熱區 : 12”dia x 48L
最高溫 : 1200C Heater : R-Type, 3Set T/C, lead wire and head 160A, 380V/60Hz/3ph 三區加熱, 電腦控制, 可自動控制溫度(升降溫、恆溫)及控制真空壓力與手臂進出 自動 PID 控制器 即時 LED 顯示螢幕當下實際溫度與製程參數 適用晶片 6~8" Wafer 可課製設定溫度設定程式，且可調整 PID 參數以達到最佳設定溫度點 |